Verfahren steigert Homogenität und Qualität

"Electronic Components", "Electronic Devices", "Solar" und "Energy Storage" sind die Geschäftsfelder der Reutlinger Manz AG.

|

Wie kann sich ein Hightech-Maschinenbauer für die Wachstumsmärkte der Zukunft ausrichten? Die Manz AG setzt dabei auf ihre Expertise in den sieben Kerntechnologien Automation, Rolle-zu-Rolle, Messtechnik, Drucken und Beschichten, Laserprozesstechnik, nasschemische Prozesse und Vakuumbeschichtung.

Die Vakuumtechnologie findet in vielen Hochtechnologie-Märkten Verwendung. Sie ist der Schlüssel zu bahnbrechenden Innovationen bei der Fertigung von Solarzellen und -modulen, Displays und Touch Panels, Lithium-Ionen-Batterien oder OLEDs. Das Produktportfolio des Reutlinger Unternehmens umfasst vertikale und horizontale Inline- und Batch-Systeme für die drei Abscheideverfahren PECVD, Sputtern und Verdampfen.

PECVD steht für plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, eine Technologie, die zum Beispiel zur Vorder- und Rückseitenpassivierung kristalliner Solarzellen eingesetzt wird. Manz setzt bei dem neu entwickelten Vertical Coating System VCS 1200 auf die PECVD-Technologie, um in der Massenfertigung kostengünstig Zellwirkungsgrade von über 20 Prozent zu realisieren. Das patentierte, vertikale Verfahren steigert Homogenität und Qualität der Beschichtung, da auf diese Weise keine Abschattungen - zum Beispiel Abdrücke durch das mechanische Fixieren der Wafer - auftreten. Das führt zu einer Wirkungsgradsteigerung. Eine Siliziumnitrid-Schicht auf der Vorderseite der Solarzellen wirkt als Antireflex-Schicht und sorgt dafür, dass Sonnenlicht besser absorbiert wird. Die Rückseite der Zelle wird mit einer weiteren Siliziumnitrid- sowie einer Aluminiumoxid-Beschichtung versehen. Dadurch wird einerseits das Sonnenlicht in die Zelle zurückreflektiert, andererseits die Rekombination der Ladungsträger verhindert. Dies steigert die Energieausbeute und damit den Wirkungsgrad der Zelle.

Bei der Entwicklung der PECVD-Anlagen standen neben einer hohen Qualität der abgeschiedenen Schichten eine möglichst hohe Produktivität im Vordergrund: Die VCS 1200 ermöglicht einen Durchsatz von 1200 Silizium-Wafern pro Stunde. Ein ebenfalls neu entwickeltes elektrostatisches Transportsystem sorgt für eine geringe mechanische Belastung der Wafer bei gleichzeitig vollflächiger Beschichtung.

Die VCS 1200 ist das Ergebnis einer Zusammenarbeit der Manz AG mit dem Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE) und einem deutschen Zellhersteller innerhalb des vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) geförderten Projekts "FeinPass", das die Passivierung von kristallinen Silizium-Solarzellen zum Thema hatte. Die Zusammensetzung und die Eigenschaften der Beschichtungen lassen sich vielfältig variieren. Damit und aufgrund ihres modularen Aufbaus eignen sich die PECVD-Beschichtungsanlagen auch für andere Anwendungen, zum Beispiel zur Beschichtung von Deckgläsern für Smartphones oder Tablet-Computern, um deren Kratzfestigkeit zu erhöhen.

Abonnieren Sie das kostenlose Morning-Briefing aus der Chefredaktion
Damit starten Sie top informiert in den Tag. Außerdem im Newsletter: Die Wettervorhersage und die aktuelle Verkehrslage in der Region.
» zur Registrierung

Noch kein Kommentar

Schreiben Sie Ihren eigenen Kommentar

noch 3000 Zeichen
Mit Ihrem Kommentar akzeptieren Sie unsere Netiquette

Für registrierte Nutzer

Melden Sie sich an und schicken Sie Ihren Kommentar ab:

Für noch nicht registrierte Nutzer

Registrieren Sie sich kostenlos, um Ihren Kommentar abzuschicken:

Ich bin damit einverstanden, dass die Neue Pressegesellschaft mbH & Co. KG und ihre Tochterunternehmen mich schriftlich (per E-Mail oder Brief) oder telefonisch über ihre Medienangebote und kostenlose Veranstaltungen informieren dürfen. Meine Daten dürfen zu diesem Zweck gemäß den Bestimmungen des BDSG gespeichert, verarbeitet und genutzt werden. Die Einwilligung kann ich jederzeit widerrufen.
Ich bin mit den Datenschutzbestimmungen einverstanden. *

Bitte beantworten Sie noch die folgende Sicherheitsfrage:

neu laden
Content Management by InterRed GmbH Logo
weiter zur Startseite

Jede Menge offene Fragen

Wie sollen die Mitarbeiter der Stadt zukünftig untergebracht werden? Die CDU-Gemeinderatsfraktion hat jetzt die Prämissen und Schlussfolgerungen eines Gutachtens hinterfragt. weiter lesen